住友臭氧發生器 SGRP-03JS
住友的臭氧發生器采用平板式放電電池，通過電力將氧氣轉化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成，以防止金屬污染達到極低水平。臭氧濃度超過400g/（n），是市場上的上等產品。在半導體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。
具體信息：
型號：SGRP-03JS
臭氧氣體流速：350g/m3(N)
臭氧氣體供應壓力：15L/min (5L/min x 3Line)
冷卻水溫度：20°C±2°C
尺寸：W570mm x D850mm x H1,870mm
重量：360kg
功率：200-220VAC, 3-phase
型號：SGRF-03JA
臭氧氣體流速：400g/m3(N)
臭氧氣體供應壓力：20L/min
冷卻水溫度：5°C
尺寸：W570mm x D850mm x H1,836mm
重量：350kg
功率：200-220VAC, 3-phase
住友臭氧發生器應用：
半導體器件
Si/復合晶圓
FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED）
光罩
發光二極管
優勢：
能夠通過單獨控制向大容量臭氧氣體提供一條管線或多條管線。
高濃度；高達400g/m3（N）
產品線豐富；小到大容量。
高壓；*大0.3Mpa（SGRP系列）
無氮摻雜（SGRF系列）
高壓耐受，長壽命放電單元
快速啟動，快速響應
與臭氧監測儀（閉環控制）集成的穩定濃度
CE、NRTL、半標準適用
管道材料；從316LSS或PFA中選擇
